ការប្រើប្រាស់សារធាតុដូប៉ាមីនដោយផ្ទាល់ផ្លាស់ប្តូរកំហាប់សារធាតុផ្ទុក ភាពធន់ និងវ៉ុលកម្រិតរបស់សារធាតុហ្សឺម៉ាញ៉ូម។ ការគ្រប់គ្រងកម្រិតសារធាតុផូស្វ័រ អង់ទីម៉ូនី អាសេនិច និងបូរ៉ុនក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកត្រូវតែឈានដល់កម្រិតរង ppm សម្រាប់ឧបករណ៍មីក្រូអេឡិចត្រូនិច និងហ្វូតូនិកដែលមានមុខងារ។ ការកែតម្រូវយ៉ាងច្បាស់លាស់នៃមាតិកាផូស្វ័រ ឬអង់ទីម៉ូនីកាត់បន្ថយដង់ស៊ីតេនៃការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់ខ្សែស្រឡាយនៅក្នុង Ge-on-Si ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងដោយផ្ទាល់នូវភាពចល័ត និងទិន្នផលសម្រាប់ឧបករណ៍រាវរក និងត្រង់ស៊ីស្ទ័រ។ សារធាតុដូប៉ាមីនលើស — ដូចជា yttrium លើសពី 2×10¹⁹ cm⁻³ — ធ្វើឱ្យខូចភាពជឿជាក់ដោយបង្កើនដង់ស៊ីតេអន្ទាក់ ដែលបង្ហាញពីភាពចាំបាច់សម្រាប់ការវិភាគធាតុនៅនឹងកន្លែង។
ហ្សឺម៉ាញ៉ូម ស៊ីមីកុងដុកទ័រ
*
បញ្ហាប្រឈមនៃវិធីសាស្ត្រវិភាគធាតុធម្មតា
វិធីសាស្រ្តប្រពៃណីពឹងផ្អែកលើការយកគំរូបំផ្លិចបំផ្លាញ ហើយតម្រូវឱ្យមានការរៀបចំគីមីវិទ្យាសើមច្រើនជំហាន ឬការស៊ើបអង្កេតអ៊ីយ៉ុង។ វដ្តវិភាគច្រើនតែលើសពី 6 ម៉ោងក្នុងមួយបាច់ ដែលកំណត់ការគ្រប់គ្រងដំណើរការពេលវេលាជាក់ស្តែង។ លំហូរការងារទាំងនេះមិនអាចគាំទ្របច្ចេកទេសវិភាគធាតុនៅនឹងកន្លែង ឬការធ្វើតេស្តសមាសធាតុគីមីនៅនឹងកន្លែងសម្រាប់ការផលិតដែលមានទិន្នផលខ្ពស់ ឬការគ្រប់គ្រងទិន្នផលកម្រិត wafer បានទេ។ ដោយសារថ្នាំងឧបករណ៍កំពុងថយចុះ តម្រូវការសម្រាប់វិសាលគម XRF ដែលកាន់ដោយដៃ និងឧបករណ៍វិភាគ XRF ចល័តសម្រាប់ការធ្វើតេស្តរហ័ស មិនបំផ្លិចបំផ្លាញសម្រាប់ឧបករណ៍ពាក់កណ្តាលចរន្ត និងការវាស់ស្ទង់សមាសធាតុធាតុពេលវេលាជាក់ស្តែងបានកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំង។ មានតែឧបករណ៍ចល័តដោយផ្ទាល់ប៉ុណ្ណោះដែលផ្តល់នូវលទ្ធផលភ្លាមៗ។សេមីកុងដុកទ័រការវិភាគសម្ភារៈ ដោយបិទគម្លាតរវាងការរួមបញ្ចូលដំណើរការ និងការតាមដានឌីជីថល។
បច្ចេកវិទ្យាស្ពិចត្រូម៉ែត្រ XRF ដៃ៖ ការផ្លាស់ប្តូរការវិភាគធាតុនៅនឹងកន្លែង
គោលការណ៍នៃការបញ្ចេញពន្លឺដោយកាំរស្មីអ៊ិច (XRF) ក្នុងការរកឃើញធាតុ
កាំរស្មីអ៊ិចបញ្ចេញពន្លឺ (XRF) ដំណើរការតាមរយៈការរំញោចអាតូមគំរូដោយកាំរស្មីអ៊ិចបឋម ដែលបណ្តាលឱ្យមានការបញ្ចេញកាំរស្មីអ៊ិចបញ្ចេញពន្លឺជាក់លាក់ចំពោះធាតុ។ ការវិភាគពហុធាតុនៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក germanium ពាក់ព័ន្ធនឹងជំហានបី៖ ការរំញោច ការបញ្ចេញ និងការរកឃើញ។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាវាស់បរិមាណហ្វូតុង fluorescent ដោយបង្កើតវិសាលគមដែលកំពូលនីមួយៗត្រូវគ្នាទៅនឹងធាតុជាក់លាក់មួយ។ ដែនកំណត់នៃការរកឃើញ sub-ppm ផ្តល់នូវការវាស់វែងដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់សារធាតុដូប៉ាងសំខាន់ៗនៅក្នុងស្រទាប់រឹង រួមទាំងផូស្វ័រ បូរ៉ុន អាសេនិច និងអង់ទីម៉ូនី — សំខាន់សម្រាប់កម្មវិធីឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក germanium។ XRF រក្សាការធ្វើតេស្តមិនបំផ្លិចបំផ្លាញដោយមិនចាំបាច់រៀបចំគំរូ ដោយដោះស្រាយតម្រូវការវាស់ស្ទង់សមាសភាពធាតុយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងទាន់ពេលវេលាក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។
លក្ខណៈសំខាន់ៗនៃម៉ាស៊ីនវិភាគ XRF ចល័តទំនើប
ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ XRF ដែលកាន់ដោយដៃបច្ចុប្បន្នគាំទ្រដល់ការធ្វើតេស្តសមាសធាតុគីមីយ៉ាងរហ័សនៅនឹងកន្លែងលើសារធាតុរ៉ែ លោហធាតុ និងសម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានបច្ចេកទេសវិភាគធាតុនៅនឹងកន្លែងសម្រាប់ស៊ីមីកុងដុកទ័រ germanium ទល់នឹងស៊ីលីកុន។ ស្រោមរឹងមាំ និងការការពារធូលីអនុញ្ញាតឱ្យប្រើប្រាស់ក្នុងបរិយាកាសដ៏លំបាក រួមទាំងបន្ទប់ស្អាត និងការត្រួតពិនិត្យវាល។
ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាស៊ីលីកុនដែលមានគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់ផ្តល់នូវការវិភាគសម្ភារៈស៊ីមីកុងដុកទ័រថ្នាក់មន្ទីរពិសោធន៍ ដោយបែងចែកទាំងសារធាតុបន្ថែមលោហៈ និងមិនមែនលោហៈដោយភាពជាក់លាក់។ ការតភ្ជាប់ឥតខ្សែរួមបញ្ចូលគ្នា និងប្រព័ន្ធដំណើរការដោយថ្មជួយសម្រួលដល់ការធ្វើតេស្តមិនបំផ្លិចបំផ្លាញសម្រាប់ស៊ីមីកុងដុកទ័រ កាត់បន្ថយការកកស្ទះដំណើរការ និងបង្កើនល្បឿនសុពលភាពវ៉ាហ្វឺរ។ មុខងារវិភាគនៅលើអេក្រង់ និងរបាយការណ៍ជាបាច់ផ្តល់នូវការធានាគុណភាពដែលប្រសើរឡើង ដោយបំពេញតាមតម្រូវការផលិតកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រសម្រាប់ការវាស់វែងសមាសធាតុធាតុ។
តម្រូវការសំខាន់ៗក្នុងការវិភាគសារធាតុញៀនសម្រាប់ឧបករណ៍ Germanium
វិស្វករស៊ីមីកុងដុកទ័រទាមទារឲ្យមានភាពជឿជាក់ និងអាចតាមដានបានការវិភាគធាតុសម្រាប់គ្រប់ដំណាក់កាល ចាប់ពី germanium ឆៅរហូតដល់បន្ទះ wafer ដែលបានបញ្ចប់។ ការវាស់វែងសមាសធាតុធាតុតាមពេលវេលាជាក់ស្តែងបញ្ជាក់ពីការអនុលោមតាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃការអត់ធ្មត់តូចចង្អៀត និងការពារការខាតបង់ទិន្នផលលើសពី 5%។ ម៉ាស៊ីនវិភាគ XRF ចល័តសម្រាប់ការវិភាគធាតុអាចឱ្យមានបច្ចេកទេសវិភាគធាតុនៅនឹងកន្លែង ដែលចាំបាច់សម្រាប់ការធ្វើតេស្តសមាសធាតុគីមីនៅនឹងកន្លែងនៃទាំង ingot និង wafer ដោយលុបបំបាត់ការពន្យារពេល និងហានិភ័យផ្នែកភស្តុភារ។
ការត្រួតពិនិត្យដំណើរការដោយប្រើបច្ចេកវិទ្យាស្ពិចត្រូម៉ែត្រ XRF ដែលកាន់ដោយដៃកាត់បន្ថយអត្រាបរាជ័យរបស់ឧបករណ៍ដោយអនុញ្ញាតឱ្យមានការធ្វើតេស្តដោយផ្ទាល់ និងមិនបំផ្លិចបំផ្លាញសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកនៅក្នុងការកំណត់វាល និងបន្ទប់ស្អាត។ ការតាមដានពេលវេលាជាក់ស្តែងធានាថាប្រភពដើមនៃពិការភាពអាចត្រូវបានភ្ជាប់ទៅនឹងសម្ភារៈជាក់លាក់។ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងស៊ីលីកុន ថាមពលធ្វើឱ្យសកម្មសារធាតុដូប៉ាញទាបរបស់ germanium ធ្វើឱ្យឯកសណ្ឋានបាច់កាន់តែសំខាន់។ គម្លាតនៃកំហាប់បូរ៉ុន ឬផូស្វ័រលើសពី 10% មានទំនាក់ទំនងដោយផ្ទាល់ទៅនឹងការផ្លាស់ប្តូរវ៉ុលកម្រិតនៅខាងក្រៅគោលដៅរចនា ដែលបង្កើនអត្រាបរាជ័យរបស់វាល។
ប្រតិបត្តិការដែលមានអត្រាទិន្នផលខ្ពស់តម្រូវឱ្យមានដំណោះស្រាយដូចជា XRF ដៃសម្រាប់ការធ្វើតេស្តឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលផ្តល់ការគ្រប់គ្រងដំណើរការស្ថិតិក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានវិនាទី ដោយមិនចាំបាច់បំផ្លាញគំរូ។ ការកត់ត្រាទិន្នន័យរួមបញ្ចូលគ្នា និងការរាយការណ៍ឥតខ្សែជួយពន្លឿនការកត់ត្រាឯកសារ និងកាត់បន្ថយការកកស្ទះដំណើរការ។ ឧបករណ៍ទាំងនេះត្រូវតែផ្តល់នូវការវិភាគសម្ភារៈឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដ៏ទូលំទូលាយ ដោយគាំទ្រដល់ការធ្វើសវនកម្មតាមដាន និងការដោះស្រាយបញ្ហាយ៉ាងឆាប់រហ័សនៅទូទាំងកម្មវិធីឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក germanium ទាំងអស់។
ឧបករណ៍វិភាគ XRF Lonnmeter៖ ដំណោះស្រាយកម្រិតខ្ពស់សម្រាប់ការវិភាគសារធាតុហាមឃាត់ Germanium
ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញារំកិលស៊ីលីកុន ដែលត្រូវបានកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធជាមួយនឹងឆានែលដែលមានកម្រិតបញ្ជូនខ្ពស់ច្រើន អាចឱ្យមានភាពត្រឹមត្រូវកម្រិតមន្ទីរពិសោធន៍ និងជួរថាមវន្តធំទូលាយ។ ការក្រិតតាមខ្នាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលបានកំណត់ជាមុនអនុញ្ញាតឱ្យអនុវត្តភ្លាមៗ - មិនត្រូវការទម្លាប់ក្រិតតាមខ្នាតរបស់អ្នកប្រើប្រាស់ទេ។ ការរុករកអេក្រង់ប៉ះធ្វើឱ្យការធ្វើតេស្តសមាសធាតុគីមីនៅនឹងកន្លែងមានភាពសាមញ្ញ។ ជាមួយនឹងកត្តាទម្រង់ទម្ងន់ស្រាល និងដំណើរការដោយថ្ម វាគាំទ្រការធ្វើតេស្តមិនបំផ្លិចបំផ្លាញចល័តសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកទាំងនៅក្នុងបរិស្ថានវាល និងបន្ទប់ស្អាត។
វដ្តវាស់វែងធម្មតាផ្តល់លទ្ធផលបរិមាណពេញលេញក្នុងរយៈពេល 30 វិនាទី។ ការកត់ត្រាទិន្នន័យរួមបញ្ចូលគ្នាផ្តល់នូវការតាមដានកម្រិតបាច់។ ការតភ្ជាប់ឥតខ្សែធានានូវការចែករំលែកលទ្ធផលភ្លាមៗ និងឯកសារត្រួតពិនិត្យគុណភាពពីចម្ងាយ។ ឧបករណ៍វិភាគគាំទ្រការកំណត់អត្តសញ្ញាណលោហធាតុ និងរបាយការណ៍ស្ថិតិរឹងមាំសម្រាប់ការអនុលោមតាមដំណើរការ។
អត្ថប្រយោជន៍ដល់ប្រតិបត្តិការឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
Lonnmeter បង្រួមពេលវេលាវិភាគពីថ្ងៃទៅជានាទី ដោយលុបបំបាត់ការកកស្ទះក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍។ ការវិភាគពេលវេលាជាក់ស្តែងដែលមានអត្រាទិន្នផលខ្ពស់បញ្ជាក់ពីការដូបត្រឹមត្រូវនៅក្នុងកម្មវិធីសេមីកុងដុកទ័រ germanium ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានអន្តរាគមន៍ភ្លាមៗដើម្បីកាត់បន្ថយការបរាជ័យឧបករណ៍ និងអត្រាការងារឡើងវិញ។ មតិប្រតិកម្មក្នុងបន្ទាត់អនុញ្ញាតឱ្យវិស្វករដោះស្រាយភាពមិនស៊ីសង្វាក់គ្នានៅក្នុងទម្រង់ដូបក្នុងអំឡុងពេលផលិត។
របៀបស្នើសុំសម្រង់តម្លៃ
ទាក់ទងក្រុមលក់របស់ Lonnmeter តាមរយៈគេហទំព័ររបស់ពួកគេ។ បំពេញទម្រង់សាកសួរតាមអ៊ីនធឺណិត ដោយបញ្ជាក់ពីប្រភេទគំរូ និងដែនកំណត់នៃការរកឃើញដែលត្រូវការ។ អ្នកឯកទេសកម្មវិធីរបស់ពួកគេផ្តល់ជូននូវការក្រិតតាមខ្នាត និងការពិគ្រោះយោបល់បច្ចេកទេសតាមតម្រូវការ ដោយផ្អែកលើកម្មវិធីឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក germanium គោលដៅ។ សម្រង់តម្លៃរួមមានការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធស្តង់ដារ និងកញ្ចប់ក្រិតតាមខ្នាតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលមាន។
សំណួរដែលសួរញឹកញាប់
តើស្ពិចត្រូម៉ែត្រ XRF ដែលអាចយួរដៃអាចរកឃើញសារធាតុដូប៉ាញអ្វីខ្លះនៅក្នុងស៊ីមីកុងដុកទ័រ germanium?
ឧបករណ៍ស្ពិចត្រូម៉ែត្រ XRF ដែលកាន់ដោយដៃអាចវាស់បរិមាណផូស្វ័រ §, អង់ទីម៉ូនី (Sb), អាសេនិច (As), និងបូរ៉ុន (B) ក្នុងទម្រង់ជាហ្សឺម៉ាញ៉ូមរឹង។ សារធាតុដូប៉ាងទាំងនេះ ដែលគ្របដណ្តប់ទាំងតម្រូវការប្រភេទ n និងប្រភេទ p ឆ្លុះបញ្ចាំងពីស្តង់ដារបច្ចុប្បន្ននៅក្នុងកម្មវិធីស៊ីមីកុងដុកទ័រហ្សឺម៉ាញ៉ូម។
តើឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ XRF ដែលកាន់ដោយដៃអាចប្រើដោយផ្ទាល់លើបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិចបានទេ?
មែនហើយ Lonnmeter XRF ត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងសម្រាប់ការធ្វើតេស្តមិនបំផ្លិចបំផ្លាញសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកក្នុងសភាពរឹង រួមទាំងការវាស់វែងដោយផ្ទាល់លើបន្ទះ germanium ឆៅ និងដុំដែកដែលបានបញ្ចប់។ ប្រតិបត្តិការចល័តអនុញ្ញាតឱ្យវិស្វករធ្វើការផ្ទៀងផ្ទាត់យ៉ាងឆាប់រហ័សនៅទូទាំងខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្ម ដោយលុបបំបាត់ការពន្យារពេលដែលឃើញជាមួយនឹងការវាយតម្លៃតែនៅមន្ទីរពិសោធន៍ប៉ុណ្ណោះ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែមីនា-០៦-២០២៦



